- Innovation and Challenges
SAPM
- SAPM (Sleeve Accident Prevention Module)은 반도체 진공배관 설치공사 시 층간(FSF↔CSF) 연결부위(Hole타공)Lap Joint설치가
필요하지 않아 공기를 단축하고, Set-up후 운영 시 발생 될 수 있는 누수,화재 확산을 예방 할 수 있으며 배관 철거 후 Lap-joint 부
안전사고를 방지한다.
- Pipe Module 장착
- 배관 철거시 Cover 장착
SPEC
| LIST | MATERIAL | SIZE (PIPE) |
|---|---|---|
| 1. Base Plate | STS304 | 100A~300A |
| 2. Pipe Module | STS304 | 100A~300A |
| 3. Cover | STS304 | 100A~300A |