- Innovation and Challenges
벨로우즈
- 반도체 장비 배관 / 진공배관 등에 적용.
Type
-
- 1. NW FLANGE TYPE
-
- 2. DC FLANGE TYPE
-
- 3. TUBE END TYPE
-
- ① NW FLANGE TYPE
-
- ② DC FLANGE TYPE
-
- ③ TUBE END TYPE
SPEC
| LIST | MATERIAL | SIZE | PRESSURE |
|---|---|---|---|
| 1. NW FLANGE TYPE | STS304 | 16A~250A | 10 -9 Torr |
| 2. DC FLANGE TYPE | STS304 | 63A~250A | |
| 3. TUBE END TYPE | STS304 | 16A~250A |
특장점
- 유체의 맥동완화
- 구간 operating 적용
- 상시 진동구간
- 기밀유지
- 라인배관 작업 불가시
- 반복내구성