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Innovation and Challenges

진공피팅

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NW-Type Assemblies

  • 반도체 전용라인 [배관], [반도체장비 배관], [진공배관], [식·의약 배관] 등에 PIPE 와 PIPE를 연결해주는 매개체이다.
  • 연결 방법이 간소하고 빠르다.
  • 사용 환경에 따라 적용할 수 있는 부품 재질이 준비되어 있다.
  • 기본 구성은 다음과 같이 5개의 부품으로 분류된다.

기본구성

  • NW CLAMP
    ① NW CLAMP
  • NW FLANGE
    ② NW FLANGE
  • O-RING
    ③ O-RING
  • CENTER RING
    ④ CENTER RING
  • OUT RING
    ⑤ OUT RING

SPEC

LIST MATERIAL SIZE PRESSURE
1. NW CLAMP AL6061 16A~250A
(65A이상은 Chain Clamp적용)		 10 -9 Torr
STS304 16A~250A
2. NW FLANGE STS304 16A~250A
3. O-RING VITON 16A~320A
4. CENTER RING STS304 16A~320A
5. OUT RING STS304 16A~320A

DC-Type Assemblies

  • 반도체 전용라인 [배관], [반도체장비 배관], [진공배관], [식·의약 배관] 등에 PIPE 와 PIPE를 연결해주는 매개체이다.
  • 연결 방법이 간소하고 빠르다.
  • 사용 환경에 따라 적용할 수 있는 부품 재질이 준비되어 있다.
  • 주로 65A SIZE 이상의 배관 연결에 사용된다.
  • 기본 구성은 다음과 같이 5개의 부품으로 분류된다.

기본구성

  • NW CLAMP
    ① DC FLANGE
  • NW FLANGE
    ② O-RING
  • O-RING
    ③ OUT-RING
  • CENTER RING
    ④ CENTER RING
  • OUT RING
    ⑤ DC CLAMP

SPEC

LIST MATERIAL SIZE PRESSURE
1. DC FLANGE STS304 63A~320A 10 -9 Torr
2. O-RING VITON 16A~320A
3. OUT-RING STS304 16A~320A
4. CENTER RING STS304 16A~320A
5. DC CLAMP AL6061 63A~320A

FLANGE

IMAGE MODEL NAME SIZE MATERIAL NOTE
NW(KF) FLANGE
(PIPE & TUBE WELD)		 16A 20A 25A 40A 50A 65A 80A 100A 125A 150A SUS 304 PIPE와 PIPE를 연결해주는 FLANGE로 BUTT-WELD TYPE 이며,
주로 구경이 작은 PIPE에 사용된다.
SUS316L
BELLOWS FLANGE
(BELLOWS WELD)		 SUS 304 FLANGE를 BELLOWS에 WELDING하여 VACCUM LINE에 사용된다.
SUS316L
SOCKET FLANGE
(SOCKET WELD)		 SUS 304 PIPE와 PIPE를 연결해주는 FLANGE로 BUTT-WELD TYPE이 아닌 SOCKET에 맞춰 WELDING하는 TYPE이다.
SUS316L
END FLANGE
(END CLOSE)		 SUS 304 VACUUM LINE을 ENDING할 때 NW FLANGE에 맞춰 사용된다.
SUS316L
DC FLANGE
(PIPE & TUBE WELD)		 65A80A100A125A150A200A250A SUS 304 PIPE와 PIPE를 연결해주는 FLANGE로 주로 구경이 큰 PIPE에 사용된다.
SUS316L
DC END FLANGE
(END CLOSE)		 SUS 304 VACUUM LINE을 CLOSING시 DC(MF) FLANGE에 맞춰 사용된다.
SUS316L
BOLTED FLANGE
(SPECIAL-요청사이즈)		 25A40A50A65A80A100A150A200A250A300A SUS 304 PIPE와 PIPE를 연결해주는 FLANGE로 BOLT 및 GASKET을 이용하여 체결한다.
SUS316L